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電子廠凈化工程中的空調(diào)系統(tǒng)濕度偏差不超過±3℃
發(fā)布時間: 2025-12-09 點擊次數(shù): 15次電子廠凈化工程中的空氣過濾系統(tǒng),可通過初效、中效和高效三級過濾器,去除不同大小的顆粒物。初效過濾器主要攔截較大的塵埃顆粒,如毛發(fā)和纖維;中效過濾器則進(jìn)一步捕捉較小的粉塵和花粉;末端的HEPA過濾器對0.3μm以上的顆粒過濾效率高達(dá)99.97,確保送入車間的空氣高度潔凈。凈化工程采用“層流送風(fēng)”和“回風(fēng)循環(huán)”相結(jié)合的方式。通過高效送風(fēng)口將經(jīng)過過濾的潔凈空氣均勻送入車間,形成穩(wěn)定的氣流,帶走生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的微粒和污染物,再經(jīng)回風(fēng)百葉窗返回空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行再次凈化,實現(xiàn)空氣的持續(xù)循環(huán)和凈化。
精密空調(diào)系統(tǒng)將溫度波動控制在±0.5℃以內(nèi),濕度偏差不超過±3℃。在PCB生產(chǎn)車間,環(huán)境濕度低于45會引發(fā)基板變形,高于60則導(dǎo)致焊膏粘連--這要求空調(diào)機組配備納米級加濕器和露點除濕雙模塊。車間內(nèi)部維持正壓狀態(tài),防止外部未凈化空氣滲入。同時,通過智能混風(fēng)箱動態(tài)調(diào)節(jié)新風(fēng)比例,保證CO2濃度低于800ppm,并確保不同區(qū)域(如生產(chǎn)區(qū)與緩沖區(qū))之間存在合理的壓差梯度,避免交叉污染。電子廠凈化工程的測定步驟:
1.檢測前準(zhǔn)備
-確保所有暖通空調(diào)系統(tǒng)、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)、公用設(shè)施安裝完畢并通過靜態(tài)測試。
-模擬動態(tài)生產(chǎn)狀態(tài),包括設(shè)備就位并開啟、工藝化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)準(zhǔn)備就緒、操作人員身著完整潔凈服進(jìn)行模擬操作等。
-HVAC系統(tǒng)需連續(xù)運行至少24小時,確保溫濕度和潔凈度穩(wěn)定。
-校準(zhǔn)粒子計數(shù)器、風(fēng)量儀、壓差計等儀器,確保在有效期內(nèi)。
2.核心動態(tài)檢測內(nèi)容
-空氣潔凈度測試:使用離散粒子計數(shù)器在關(guān)鍵區(qū)域(如工藝區(qū)、設(shè)備周邊)采樣,分析數(shù)據(jù)均勻性和穩(wěn)定性。
-氣流測試:用風(fēng)量罩測量高效送風(fēng)口的送風(fēng)量與換氣次數(shù);通過煙霧筆或干冰觀察氣流方向,驗證無渦流或停滯區(qū);模擬污染后測試自凈恢復(fù)時間。
-壓差測試:模擬門開關(guān)動作,觀察壓差變化及恢復(fù)能力,確保關(guān)閉后迅速恢復(fù)設(shè)定值。
-溫濕度監(jiān)測:使用高精度記錄儀在設(shè)備區(qū)、回風(fēng)口等多點連續(xù)監(jiān)測24小時以上,分析波動是否符合設(shè)計范圍(通常溫度20-24℃,濕度45-55)。
-懸浮分子污染(AMC)測試:采集空氣樣本,通過氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀分析有害化學(xué)物質(zhì)含量。
3.其他專項檢測
-靜電消除系統(tǒng):檢測靜電消除器性能及接地電阻是否達(dá)標(biāo)。
-水處理系統(tǒng):驗證軟化水、純水設(shè)備的水質(zhì)符合工藝要求。
-車間裝修驗收:檢查墻面厚度、地面平整度、吊頂牢固性等。
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