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特種氣體系統的設計與施工要求
發布時間： 2023-10-11 點擊次數： 2347次特種氣體是指那些在特定領域中應用、對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。在半導體器件，尤其是大規模和超大規模集成電路的生產過程中用途廣泛。博泰小編帶大家了解相關知識。
一、分類
特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體。根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。
二、特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。最后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。
三、供氣系統的選擇
1、簡單供氣系統
簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。2、常規供氣系統
常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單。3、大宗特氣供氣系統
大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空。注意安全防護措施，防止泄漏偵測，設置遠程緊急切斷和專用氮氣吹掃起源等等。
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